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国产半导体设备巨头在手订单激增

最近有消息称,国产DUV光刻机正在测试,国产EUV光刻机也有了突破。

其实,在整个芯片制造产业链上,光刻机并不是唯一最难攻克的节点,还有刻蚀机,还有光刻胶,还有高端清洗设备等。

那么,其他关键节点进展如何呢?

幸运的是,几个关键节点都很顺利。

以前美籍华人尹志尧为代表的中微公司解决了刻蚀机的技术难关,甚至把技术极限做到了3nm,给三星和台积电供货,为什么是前美籍华人呢?因为尹志尧先生已经在2024年回归中国国籍。

中科院化学所牵头的光刻胶攻关也大获成功,多家上市公司都布局光刻胶。

美籍华人王晖带领的盛美上海,则把半导体清洗设备支持到了5nm和3nm制程。

1978年,恢复高考第一年,17岁的王晖考入了清华大学精密仪器系。

国产半导体设备巨头在手订单激增

之后,开启了开挂的人生。

1984年赴日本大阪大学主攻半导体设备及工艺的工学硕士及博士。毕业后先入美国辛辛那提大学电机系纳米实验室从事博士后研究,后在美国硅谷从事半导体设备及工艺研发工作。1998年,在硅谷创办ACMResearch,发明多阳极局部电镀铜、无应力铜抛光技术及工艺。2006年,带队归国创业。2021年,盛美上海在科创板上市。

国产半导体设备巨头在手订单激增

除王晖外,公司高管中至少有4位是美籍。

正如哈耶克所言,人流的方向,就是文明的方向。

一、订单爆表

国庆假期前,盛美上海发布《关于在手订单情况的自愿性披露公告》,截至2025年9月29日,公司在手订单总金额为90.72亿元,与上年同期已自愿性披露的在手订单数据相比,在手订单总金额同比增加34.10%。

国产半导体设备巨头在手订单激增

数据来源:iFind

这个数据和公司半年报情况一脉相承:2025年上半年,公司实现营业收入32.65亿元,同比增长35.83%;归母净利润6.96亿元,同比增长56.99%;扣非净利润6.74亿元,同比增长55.17%。

公司业绩暴涨的原因有三个:

一是半导体行业持续复苏,全球半导体制造设备销售额预计同比增长7.4%,达到1255亿美元的历史新高。中国大陆、中国台湾和韩国将是设备支出的前三大目的地,盛美上海作为国内半导体设备龙头充分受益。

二是公司持续推进产品平台化,产品技术与性能不断优化,产品系列日益丰富,满足了客户的多样化需求,市场认可度不断提高。

三是有订单的基础上有产能,公司销售交货及调试验收工作高效推进,有效保障了经营业绩的稳步增长。

当然了,归根结底是一个,半导体行业国产自主可控的需求不断高涨,公司目前竞争对手不多,订单接到手软。

二、分版块业绩情况

分板块来看,公司核心业务分四大部分,以清洗设备为主,电镀设备为辅,涂胶显影设备和PECVD设备开始起步。

清洗设备营收占比约72%,全球市场占有率达8.0%,位居全球第四;中国市场占有率超30%,排名第二。公司自主研发的SAPS、TEBO兆声波清洗技术和Tahoe单片槽式组合清洗技术均为全球首创,解决了兆声波能量在晶圆上均匀分布及实现图形结构无损伤的全球性难题。

电镀设备营收占比约20%,全球市场占有率达8.2%,位列全球第三。公司ECP设备第1500电镀腔完成交付,实现电镀技术全领域覆盖(前道铜互连/后道晶圆级封装/3D堆叠/化合物半导体)。

涂胶显影设备方面尚未实现大规模营收,2025年9月,公司首台KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF系统顺利交付中国头部逻辑晶圆厂客户。该设备产能超过300片晶圆/小时(WPH),具备先进温控技术以及与ASML光刻机匹配的关键尺寸(CD)精度。

公司PECVD设备采用差异化技术路线,具备完全自主的知识产权,已开始向客户提供验证 18 。预计2026年将实现5nm逻辑芯片薄膜均匀性±1.5%的技术突破(行业标准为±2%)。

可以说,在光刻机的配套环节,中国产业链已经没有了短板,万事俱备只欠东风。

三、对大客户的过度依赖

公司的第一个真正意义上的大客户,是韩国海力士。作为存储芯片的巨头,海力士最大的生产基地在无锡,盛美上海和海力士进行了深入合作。海力士2009年引入了盛美的清洗设备,开展产品验证。从产品进厂验证到正式获得订单,盛美花了近2年的时间。

据公司招股书,盛美上海的大客户名单里,多了中芯国际、长江存储、华虹半导体等国内芯片巨头。

考虑到中微半导体也是长江存储的核心供应商,可见中国在存储芯片领域,依托灵活的人才引进政策(长江存储的攻关之路由台湾存储教父高启全带领),快速实现了技术突破。

对于盛美上海来说,公司前五大客户的营收占比达到了52.28%。对大客户的依赖程度比较高,由于芯片行业受到国际环境的影响比较大,公司的大客户“风吹草动”都会影响业绩。

国产半导体设备巨头在手订单激增

数据来源:iFind

尤其是一旦大客户回款不太及时,会给公司的流动资金带来一定的压力。同时应收款规模越大,存在的坏账风险也就越大。

国产半导体设备巨头在手订单激增

数据来源:iFind

受到应收账款规模扩大的影响,公司上半年经营活动产生的现金流量净额为-1.32亿元,同比下降129.54%。

除此之外,公司还面临着复杂的国际市场贸易争端的风险。

作为半导体产业链中的重要组成部分,公司的产品依赖于全球半导体巨头的市场需求。然而,今年初,盛美上海终止了韩国项目,这也说明公司想要拓展海外业务,面临着巨大的风险。

其实这是中国所有半导体产业链企业都要面临的问题,一方面是蒸蒸日上的国内市场,另一方面是向海外市场扩张但会面临动辄上清单的风险。

对于投资者来讲,半导体企业从事海外业务是利好还是利空,很难直接下定论,是一件值得斟酌事。

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