最新传闻称中芯国际正在测试由上海宇量昇制造的深紫外(DUV)光刻机。而且目前中芯国际测试结果较为乐观。

宇量昇概念股直接成为市场热点,所以有必要梳理一下其核心设备供应商。

根据公开信息整理,截至2025年,为上海宇量昇科技有限公司(简称“宇量昇”)提供关键零部件的核心供应商主要包括以下几类企业,涵盖精密机械、光学系统、真空部件及材料等关键环节:

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✅ 1. 精密机械与晶圆机器人供应商

- 重庆渝莱昇精密制造有限公司(美利信科技旗下)

提供半导体设备机械臂、工作台等精密零部件,配套宇量昇的刻蚀、离子注入、PVD/CVD等设备,2024年已实现近亿元营收贡献,是国产设备中稀缺的零部件供应商之一。

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✅ 2. 光学系统与镀膜设备供应商

- 波长光电

提供高精度透镜,是EUV光学镜头核心组件供应商,配套宇量昇光刻机光学系统。

- 汇成真空

提供EUV多层镀膜设备,用于光刻机镜片镀膜,是宇量昇光刻系统中关键支撑环节。

- 茂莱光学

提供物镜、照明系统,半导体收入占比高,已配套上海微电子及宇量昇等设备厂商。

- 福晶科技

提供光学晶体、衍射光学元件,全球市占率高,客户包括ASML、华为及宇量昇等。

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✅ 3. 真空与管路系统供应商

- 新莱应材

提供EUV设备所需的高纯不锈钢管路、真空腔体、阀门等“血管级”关键部件,与宇量昇及其合作方新凯来均有合作。

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✅ 4. 其他战略协同企业

- 长光集智、科益虹源、国望光学

提供光刻机光学系统、光源模块等核心子系统,与宇量昇共同参与国产EUV光刻机研发。

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总结起来,

宇量昇的零部件供应链高度国产化,核心供应商多为国内具备精密制造与光学能力的高科技企业,涵盖:

- 机械结构(渝莱昇)

- 光学元件(波长光电、茂莱光学、福晶科技)

- 镀膜与真空系统(汇成真空、新莱应材)

- 光源与系统集成(科益虹源、国望光学)

这些企业共同构成了宇量昇在光刻机及半导体设备领域的国产化供应链基础。


上海宇量昇核心设备供应商梳理

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