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IPO获受理!国产激光设备打破垄断,半导体圈迎新变局
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文/世界钱景说
编辑/世界钱景说
苏州莱普科技最近提交了科创板IPO申请,这事在半导体圈不算大新闻,但懂行的都知道,这背后是国产激光设备的一次关键亮相。
以前提到半导体激光设备,业内人第一反应都是国外品牌,毕竟人家垄断这个市场几十年了。
但现在不一样了,随着国内晶圆厂一座座建起来,国产设备也跟着站上了舞台。
本来想只讲莱普科技这一家企业,后来发现不先说说激光设备是啥,大家根本明白这事儿的分量。
简单说,半导体激光设备就是芯片制造过程中的“精细手术刀”,芯片从晶圆到成品,好多关键步骤都得靠它。
就拿激光退火设备来说,芯片制造时会给晶圆注入离子,这一步容易造成晶格损伤。
激光退火设备就派上用场了,它能精准加热受损区域,把晶格修复好,还能激活杂质离子的电活性。
华卓精科的工程师跟我聊过,这步操作精度要求极高,温度差一度都可能影响芯片性能。
还有激光诱导结晶设备,现在主流的128层以上3DNAND芯片,沟道形成全靠它,能让晶粒尺寸变大,减少缺陷,这样存储器性能才上得去。

后道封测环节更离不开激光设备。
激光划片机把晶圆切成一个个独立芯片,切口平整不损伤芯片;激光打标机在芯片上刻上序列号,从生产到售后全程可追溯。
我跑过一次长电科技的封测车间,流水线里的激光打标机一秒钟就能完成一次标记,速度比以前的传统设备快了三倍多。
这些设备以前全靠进口,日本JSW、应用材料这些巨头牢牢攥着技术。

国内厂商想拿货,不仅价格高,还得看人家脸色。
中芯国际早年买一台进口激光退火设备,光交货就得等大半年,后期维护费用更是高得离谱。
市场需求逼得国内企业不得不发力。
这些年国内晶圆厂扩产速度特别快,中芯国际、长江存储这些头部企业,未来合计扩产产能要超过80万片每月。
这么大的产能,设备总不能一直靠进口吧?

莱普科技就是在这波扩产潮里起来的。
它主攻的激光热处理设备,已经进了长江存储、长鑫存储的产线。
更厉害的是,在3DNAND激光诱导结晶设备这个细分领域,它的市占率超过90%,基本成了独家供应商。
能做到这一步,不是靠运气,是跟晶圆厂联合研发的结果。
长江存储研发新一代3DNAND芯片时,莱普科技派了二十多个工程师驻场,跟着调试了整整一年,才做出适配的设备。

不止莱普科技,华工激光、大族激光这些企业也在发力。
华工激光依托华中科大的技术支持,在晶圆切割、退火设备上实现了突破,它的设备已经卖到了三十多个国家。
大族激光更全面,从激光打标到划片设备,几乎覆盖了半导体制造全流程,中芯国际的不少产线都在用它的设备。
国产设备现在还没做到全面超越。
全球前道激光设备市场,海外前五企业占了八成多份额,高端设备领域咱们还得追赶。

但局部领域已经实现领跑了,除了莱普科技的3DNAND专用设备,上海微电子的IGBT激光退火设备在超薄硅片领域,性能比进口设备还稳定。
国产设备能起来,政策和资本也帮了大忙。
国家集成电路基金二期持有莱普科技7.66%的股份,这笔钱主要用来研发新设备。
各地政府也给晶圆厂和设备厂商牵线,搭建联合研发平台。
以前国产设备想进大厂产线难如登天,现在有了政策支持,验证周期缩短了不少。

现在半导体行业都在说后摩尔时代,芯片制程快到物理极限了,先进封装、3D堆叠成了新方向。
这些新技术对激光设备的要求更高,也给了国产设备新机会。
莱普科技正在研发适配HBM的激光解键合设备,一旦成功,就能打破海外在这个领域的垄断。
总的来说,国产半导体激光设备的崛起,不是某一家企业的胜利,是整个产业链协同发力的结果。
从以前的“造不如买”,到现在能在细分领域卡脖子,这背后是无数工程师的熬夜调试,是晶圆厂的大胆试用。
虽然跟国际巨头还有差距,但这个追赶的势头很猛。
相信再过几年,提到半导体激光设备,大家首先想到的会是中国品牌。
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